產品概述
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驅動器技術參數:
測量長度:up to 140 mm
定位速度:0.02 - 200 mm/s (in X)
測量速度:up to 10 mm/s
導軌直線度:0.35 µm / 60 mm,0.4 µm / 140 mm
驅動器旋轉角度:±45°
輪廓測量技術參數:
測桿長度:210 mm-option; 350 mm; 490 mm-option,測桿帶有芯片可被軟件自動識別
輪廓分辨率:max. 6 nm (with 210 mm probe arm)
測量精度:±(1.0 + 1.25 l/100) µm; l in mm
最大測量范圍:70 mm (in Z with 350 mm probe arm) max. 100 mm (with 490 mm probe arm-option)
測力:4mN-30mN軟件可調
粗糙度測量技術參數:
測桿長度:45 mm; 90 mm-option; 135 mm-option
粗糙度分辨率:max. 0.2 nm
測量精度:±2%
最大測量范圍:500 µm (±250 µm) for 45 mm probe arm length
1500 µm (±750 µm) for 135 mm probe arm length-option
測力:0.7mN
立柱及微調工作臺技術參數:
立柱高度:350 mm
立柱定位方式:CNC全自動定位,可程序控制定位
立柱定位速度:up to 50mm/s
微調工作臺尺寸:390mm x 430mm
工作臺微調范圍:50mm
微調工作臺承重:90Kg
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