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激光干涉儀的工作原理

點(diǎn)擊次數(shù):2012  更新時(shí)間:2018-07-16
    高精度激光干涉儀具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件,具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。

    多普勒效應(yīng)(Doppler Effect: 任何形式的波傳播,都是由于波源、接收器、傳播介質(zhì)或中間反射器的運(yùn)動(dòng),會(huì)使頻率發(fā)生變化的現(xiàn)象。這種因多普勒效應(yīng)所引起的頻率變化稱為多普勒偏移或頻移(Doppler Shift, 其頻移大小與介質(zhì)、波源和觀察物的運(yùn)動(dòng)有關(guān)。XL 激光頭射出的頻率為 f0, 經(jīng)過反射鏡反射回來到激光頭內(nèi)的探測(cè)器,當(dāng)反射鏡不動(dòng)時(shí),其反射波頻率 fr= f0。當(dāng)反射鏡以 v=dx/ dt的速度沿線性軸遠(yuǎn)離或者靠近激光頭時(shí),因?yàn)楣獬淘黾踊驕p少了 2vt,反射波 fr的數(shù)值會(huì)減少或增加 2v /λ0,λ0為激光波長(zhǎng)。

    通常將反射鏡設(shè)定為移動(dòng)光學(xué)部件,將干涉鏡設(shè)定為靜止部件。二者可以反過來,但是大測(cè)量距離將減少一半。因此,在超過 40m 行程的長(zhǎng)軸上測(cè)量時(shí),必須線性干涉鏡靜止不動(dòng),而另一個(gè)反射鏡移動(dòng)。而對(duì)行程小于 40m 的軸進(jìn)行測(cè)量時(shí),為了方便測(cè)量,可以線性干涉鏡移動(dòng),也可以反射鏡移動(dòng)。

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